潔(jie)凈(jing)(jing)室的(de)溫濕(shi)度主要(yao)是根據工藝(yi)要(yao)求來確(que)定的(de)。在滿足工藝(yi)要(yao)求的(de)條件(jian)下(xia)，應考慮(lv)人(ren)的(de)喜好。不(bu)(bu)(bu)同(tong)行業(ye)的(de)潔(jie)凈(jing)(jing)室都有不(bu)(bu)(bu)同(tong)的(de)溫濕(shi)度控制范(fan)圍，對(dui)監(jian)測儀器也有不(bu)(bu)(bu)同(tong)的(de)要(yao)求。本章(zhang)將(jiang)從半導體行業(ye)來探討潔(jie)凈(jing)(jing)室的(de)溫濕(shi)度方案(an)。

　　面板顯示、微機電、晶(jing)圓、芯片(pian)等高精(jing)尖要(yao)(yao)求的(de)半導(dao)體行(xing)業加工精(jing)度(du)越精(jing)細(xi)，對溫(wen)濕度(du)波動的(de)范圍要(yao)(yao)求越小。如(ru)在(zai)大規模集成電路(lu)生產(chan)的(de)光刻(ke)曝光工藝中，作為掩(yan)膜(mo)板材料的(de)玻璃與硅片(pian)的(de)熱膨(peng)脹系數的(de)差要(yao)(yao)求越來越小。直徑100um的(de)硅片(pian)，溫(wen)度(du)上升1℃，就會引(yin)起0.24um線性膨(peng)脹。在(zai)這(zhe)樣(yang)的(de)情境下，溫(wen)度(du)需要(yao)(yao)準確控(kong)制，避免(mian)影響產(chan)品的(de)質(zhi)量。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔(jie)凈室內(nei)溫(wen)度(du)的(de)(de)(de)影響主要是從產(chan)品精度(du)，合格率以(yi)及污染的(de)(de)(de)角度(du)（溫(wen)度(du)升高后，會(hui)引起人出汗(han)，汗(han)水會(hui)對產(chan)品產(chan)生(sheng)污染，特(te)別是怕鈉的(de)(de)(de)半導體(ti)車間(jian)）來考慮的(de)(de)(de)。越精細(xi)、集成度(du)高的(de)(de)(de)電子加工，對溫(wen)度(du)的(de)(de)(de)敏感性越大。

　　濕度(du)太高會(hui)使(shi)物體(ti)表(biao)面的灰塵難以(yi)清除，但是相對濕度(du)低于30%時，又由于靜電(dian)力的作用使(shi)粒子(zi)也容(rong)易吸附于物體(ti)表(biao)面，靜電(dian)會(hui)使(shi)半(ban)導體(ti)器件發生擊穿。

　　按照(zhao)半導體生產(chan)工(gong)藝的(de)特點，潔凈室一般溫度(du)控制在20-25℃，濕度(du)控制在50-60%RH，這個范(fan)圍(wei)不但滿足了(le)生產(chan)工(gong)藝的(de)要求，而且人在這樣的(de)環境(jing)下也(ye)感到舒服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅(luo)卓尼克(ke)溫濕(shi)度(du)(du)變送器(qi)(qi)憑借其準(zhun)確、穩(wen)定、易用(yong)等的(de)特(te)性贏得了半(ban)導體(ti)客戶的(de)青睞。無(wu)錫徽(hui)科特(te)服務的(de)半(ban)導體(ti)客戶不斷增多(duo)，如維信諾、惠科光電(dian)，廈門天(tian)馬等，他們對溫濕(shi)度(du)(du)的(de)控(kong)制(zhi)都很(hen)嚴格，羅(luo)卓尼克(ke)的(de)HF1，HF5成為了他們選擇的(de)明(ming)星款產品。這兩款變送器(qi)(qi)很(hen)好(hao)的(de)滿足了客戶對儀(yi)(yi)器(qi)(qi)高精度(du)(du)、長期穩(wen)定、帶顯示和(he)分析儀(yi)(yi)在線校準(zhun)功(gong)能(neng)，可以為生產運營提供關鍵控(kong)制(zhi)和(he)監(jian)測數(shu)據的(de)需(xu)求(qiu)。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量相對濕度(du)和(he)溫度(du)的經濟款變(bian)送(song)(song)器，性價(jia)比高。可選SW21軟件進行(xing)變(bian)更量程(cheng)并(bing)對變(bian)送(song)(song)器進行(xing)校準(zhun)和(he)標定。

　　?23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測(ce)量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠校準35%RH，80%RH

　　?提供OEM定制型號和精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系列變(bian)送(song)器可配合(he)所有帶AirChip芯(xin)片的(de)HC2探頭使用。由于探頭的(de)高精度，HF5系列變(bian)送(song)器能(neng)夠(gou)完成高精度的(de)測量(liang)。其探頭更換簡單輕(qing)松，自帶實(shi)體按鈕可現(xian)場輕(qing)松校準(zhun)，屏幕(mu)背(bei)光可調節(jie)。

　　?精(jing)(jing)度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常(chang)用(yong)精(jing)(jing)度）

　　?測量(liang)范(fan)圍(wei)：-50至100℃/0至100%RH（常(chang)用(yong)范(fan)圍(wei)）

　　?數字輸(shu)(shu)出，可以與模(mo)擬量輸(shu)(shu)出結合使用(yong)

　　?可以提供(gong)多(duo)種(zhong)濕度學(xue)參數(shu)輸出

　　?HF5軟件(jian)任意(yi)點校(xiao)準，保持更穩定、準確的精度

　　?可(ke)以作為系統(tong)驗(yan)證(zheng)模(mo)擬器(qi)使(shi)用

　　?可選防爆款

　　?提(ti)供OEM定制型號，可(ke)選其他探(tan)頭