潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)的(de)溫(wen)濕度主(zhu)要(yao)是根據工藝(yi)要(yao)求來(lai)確定的(de)。在滿足(zu)工藝(yi)要(yao)求的(de)條(tiao)件下，應考慮人(ren)的(de)喜好(hao)。不(bu)(bu)同行(xing)業的(de)潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)都(dou)有(you)不(bu)(bu)同的(de)溫(wen)濕度控(kong)制范(fan)圍，對監測(ce)儀器也有(you)不(bu)(bu)同的(de)要(yao)求。本章將從半(ban)導體行(xing)業來(lai)探討潔(jie)凈(jing)室(shi)(shi)的(de)溫(wen)濕度方案。

　　面板顯示(shi)、微機電(dian)、晶圓、芯片(pian)等(deng)高精尖要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)的(de)半導體行業加(jia)工(gong)精度(du)越(yue)(yue)精細，對溫濕度(du)波動的(de)范(fan)圍要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)小(xiao)(xiao)。如在大規模集成電(dian)路生產(chan)的(de)光刻曝(pu)光工(gong)藝(yi)中(zhong)，作為掩膜板材(cai)料的(de)玻璃與硅片(pian)的(de)熱膨(peng)脹(zhang)系數的(de)差要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)越(yue)(yue)來(lai)越(yue)(yue)小(xiao)(xiao)。直徑100um的(de)硅片(pian)，溫度(du)上升1℃，就會引起(qi)0.24um線性膨(peng)脹(zhang)。在這樣(yang)的(de)情境下，溫度(du)需要(yao)(yao)準(zhun)確(que)控制，避免影響產(chan)品的(de)質量。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈室內(nei)溫(wen)度的影響主要是從(cong)產品精度，合格率以及污(wu)染(ran)的角度（溫(wen)度升高后，會引起人出汗(han)，汗(han)水會對產品產生(sheng)污(wu)染(ran)，特別是怕鈉的半(ban)導體(ti)車間）來(lai)考慮的。越精細(xi)、集(ji)成度高的電子加工(gong)，對溫(wen)度的敏感性越大。

　　濕(shi)度太高會使(shi)(shi)物體表面的(de)灰塵難以清(qing)除(chu)，但是相對濕(shi)度低于30%時，又由于靜電(dian)力的(de)作用(yong)使(shi)(shi)粒子也容(rong)易吸附于物體表面，靜電(dian)會使(shi)(shi)半(ban)導體器件發生擊穿(chuan)。

　　按照半導體生(sheng)產(chan)工藝的(de)(de)特點，潔凈(jing)室一般溫度(du)控制在(zai)20-25℃，濕度(du)控制在(zai)50-60%RH，這(zhe)個范(fan)圍不但滿足了生(sheng)產(chan)工藝的(de)(de)要(yao)求，而且(qie)人在(zai)這(zhe)樣的(de)(de)環境下也感(gan)到舒(shu)服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅卓(zhuo)(zhuo)尼克溫濕度(du)變(bian)送器(qi)憑借其準(zhun)確(que)、穩(wen)定、易用等的(de)(de)(de)特(te)性贏(ying)得了半導(dao)體(ti)客(ke)戶(hu)的(de)(de)(de)青睞。無錫徽(hui)科(ke)(ke)特(te)服務的(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)客(ke)戶(hu)不斷增多，如(ru)維信諾(nuo)、惠科(ke)(ke)光電(dian)，廈門天馬(ma)等，他們(men)對溫濕度(du)的(de)(de)(de)控制都(dou)很嚴格，羅卓(zhuo)(zhuo)尼克的(de)(de)(de)HF1，HF5成為了他們(men)選擇的(de)(de)(de)明(ming)星款(kuan)產品。這(zhe)兩款(kuan)變(bian)送器(qi)很好(hao)的(de)(de)(de)滿足了客(ke)戶(hu)對儀(yi)器(qi)高精度(du)、長期(qi)穩(wen)定、帶顯示(shi)和分析儀(yi)在線校準(zhun)功能，可以(yi)為生產運營(ying)提(ti)供(gong)關鍵控制和監(jian)測(ce)數據的(de)(de)(de)需(xu)求。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列(lie)是測(ce)量(liang)相對濕度和溫度的經(jing)濟款變(bian)送(song)器，性價比(bi)高(gao)。可選SW21軟件進行(xing)變(bian)更量(liang)程并(bing)對變(bian)送(song)器進行(xing)校準和標定。

　　?23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　?測量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　?體積小巧，容易安裝

　　?USB接口

　　?工廠校準(zhun)35%RH，80%RH

　　?提供OEM定制型號和(he)精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系(xi)列(lie)變送器(qi)(qi)可(ke)配合(he)所有帶(dai)(dai)AirChip芯片的HC2探頭(tou)使用。由(you)于探頭(tou)的高精(jing)度，HF5系(xi)列(lie)變送器(qi)(qi)能夠(gou)完成高精(jing)度的測量。其探頭(tou)更換(huan)簡單輕(qing)(qing)松，自帶(dai)(dai)實體按(an)鈕可(ke)現場輕(qing)(qing)松校準，屏(ping)幕背(bei)光可(ke)調(diao)節。

　　?精(jing)度(du)：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常(chang)用精(jing)度(du)）

　　?測(ce)量范圍：-50至100℃/0至100%RH（常用范圍）

　　?數字輸(shu)出，可(ke)以與(yu)模擬(ni)量(liang)輸(shu)出結合(he)使用

　　?可以提供(gong)多種(zhong)濕度學(xue)參數(shu)輸(shu)出

　　?HF5軟件任(ren)意點校準(zhun)，保持更穩定(ding)、準(zhun)確的精度

　　?可以作為系統(tong)驗證模擬器使用

　　?可選防爆款

　　?提供OEM定制型(xing)號，可(ke)選其他探頭